1.1儀器組成

進樣系統： 不銹鋼或者石英玻璃毛細管以及對應的過濾膜組成，采用二級降壓，毛細管外面 配加熱套，加熱溫度從常溫到200℃。

真空系統： 渦輪分子泵以及無油隔膜干泵，配套全量程真空計，控制和監測質譜室的壓力， 保證質譜儀的正常運行，質譜室材料為不銹鋼，外配加熱套，最大可烘烤溫度可達200℃,可 定期烘烤除氣，質譜室加熱套以及進樣管加熱套由兩個獨立的溫控儀控制。

四級桿系統： 電子轟擊離子源，四級桿質量分離器以及檢測器組成。

1.2技術參數

質量數范圍：1-300amu

質量分析器：四級桿

檢測器：Faraday(SEM  可選)

檢測限： Faraday:4      X101mbar

檢測限： SEM:3X10~l5 mbar

離子源：開放式離子源，含2根燈絲

測量通道：128 pieces

通訊接口： Ethernet                      

掃描時間：1ms-16s/amu                        

10%峰高分辨率：0.5-2.5amu

進樣壓力：常壓進樣(其他壓力可選)                    

1.3質譜儀性能特點

◆  可控溫的進氣管路，有效防止進樣氣體在進樣過程中冷凝；

◆ 可烘烤的質譜室，有效降低背景氣體的干擾；

◆多路輸入輸出信號，可跟外部儀器實現自動化控制；

◆ 自帶的燈絲壓力保護設置，延長燈絲使用壽命；

◆毫秒量級的響應時間，毫秒量級的掃描速度，實現快速在線分析；

◆ 法拉第杯/電子倍增器雙檢測器，靈敏度高，實現從100%到ppb 的寬范圍檢測；

◆專業的分析軟件，多組分采樣，實現氣體的定性和定量分析；

◆  可定制化的進樣系統，根據需求實現進樣氣體前處理和多通道采樣檢測； 1.4提供儀器的全套分析軟件及資料。